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基于超声时效成形研究了导电游丝在微惯性器件装配过程中的应力去除问题,应用有限元方法研究了导电游丝在超声波加载下的内部应力变化和整体结构的塑性应变状态,分析了超声波的振幅和频率两个因素对成形效率的影响规律,计算结果表明:导电游丝的成形率随超声振幅的提高而增大,但超过一定阈值会引起局部形变过大的问题;超声频率同样对成形率有很大影响,提高频率可弥补低振幅下的能量不足.为导电游丝的超声去应力工艺提供了理论依据和数值参考.