【摘 要】
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利用丝网印刷技术制备Zr-V—Fe吸气剂薄膜。以Pb玻璃粉作为薄膜与基片的粘结剂，研究了三种不同退火温度下制备的Zr—V—Fe吸气剂薄膜的吸气性能，通过XRD，FESEM，EDS及吸气性能测试
【机 构】
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北京有色金属研究总院先进电子材料研究所
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利用丝网印刷技术制备Zr-V—Fe吸气剂薄膜。以Pb玻璃粉作为薄膜与基片的粘结剂，研究了三种不同退火温度下制备的Zr—V—Fe吸气剂薄膜的吸气性能，通过XRD，FESEM，EDS及吸气性能测试，分析讨论了薄膜的相组成、表面形貌和表面成分对吸气性能的影响。结果表明，退火温度变化会使薄膜表面Pb含量发生改变，从而引起吸气剂薄膜的吸气性能发生变化，在玻璃粉的熔点温度（350℃）进行退火，所得的薄膜具有更多清洁有效的表面，此时玻璃粉对薄膜的吸气性能影响最小，薄膜的吸气性能最佳。
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