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静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度，对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明：硅微机械滤波器输出电压Vo（t）与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下，静电力包含直流分量和倍频分量。直流偏置电压Vp可消除系统倍频振动，为后续检测电路设计提供便利。
静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析
【摘 要】
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静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度，对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明：硅微机械滤波器输出电压Vo（t）与梳状振子振动
【机 构】
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上海理工大学光学与电子信息学院精密仪器研究所
【出 处】
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噪声与振动控制
【发表日期】
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2007年6期
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