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来源 :理化检验(物理分册) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用正交实验,直流电化学腐蚀法制备多孔硅。用原子力显微镜对表面进行观察,研究电化学腐蚀参数对其表面形貌的影响。氢氟酸浓度(CHF)升高,使临界电流密度(JPS)增大,有利于多
【作 者】
:
李志全
乔淑欣
蔡亚楠
滕峰成
张乐欣
【机 构】
:
河北燕山大学电气工程学院,河北燕山大学亚稳材料制备与科学国家重点实验室
【出 处】
:
理化检验(物理分册)
【发表日期】
:
2006年08期
【关键词】
:
直流电化学腐蚀
正交实验
多孔硅
表面形貌
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