【摘 要】
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为了深入研究微腔介质阻挡放电(MDBD)的放电机理与放电参量的演化规律,搭建了基于介质板表面网格微结构电极装置的实验平台,并在深入分析其放电机理和实验结果的基础上建立了
【机 构】
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河南理工大学电气工程与自动化学院; 河南理工大学机械与动力工程学院;
【基金项目】
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国家自然科学基金“基于微电极结构的介质阻挡放电及等离子体三极管研究”(U1204506);国家自然科学基金“发射光谱解析常压均匀放电等离子体处理服用丙纶表面的反应机理研究”(11405044)
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为了深入研究微腔介质阻挡放电(MDBD)的放电机理与放电参量的演化规律,搭建了基于介质板表面网格微结构电极装置的实验平台,并在深入分析其放电机理和实验结果的基础上建立了MDBD等效电路,建立了基于基尔霍夫电压方程,Boltzmann方程和电子连续性方程的仿真模型,并通过Matlab/Simulink和BOLSIG+软件联立求解,得到了MDBD伏安特性曲线、气隙电压、介质表面电压、电子密度和电子温度等特性参量的变化规律,并分析了电子平均能量与约化场强的对应关系。结果表明:MDBD气隙电压和介质表面电压在气隙击穿后基本维持不变,电子温度和电子密度与放电电流的变化规律一致,电子温度最高值约为3.0 eV,平均值约为1.6 eV,电子平均能量约为1.2 eV。
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