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【摘 要】
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采用金属有机化学气相沉积方法,在Si(100)衬底上生长出具有高度C轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、原子力显微镜和室温光致发光谱研究了厚度对ZnO薄膜的结构、表面和光学
【机 构】
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中国科学院半导体研究所材料中心,中国科学院半导体研究所材料中心,中国科学院半导体研究所材料中心,中国科学院半导体研究所材料中心,中国科学院半导体研究所材料中心 北京100083,北京100083,北京
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年11期
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