半导体制造业的环境污染与清洁生产

• 作 者: 余刚 罗玉(车舟)
• 机 构: 清华大学环境科学与工程系,北京,100084
• 出 处: 环境保护
• 发表日期: 2000年8期
• 关键词: 半导体制造业 清洁生产 环境污染

在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案.