【摘 要】
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本文介绍电子束蒸涂技术的基本原理、关键技术、目前发展水平、以及一些典型应用实例。
This article describes the basic principles of e-beam evaporation technology,
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本文介绍电子束蒸涂技术的基本原理、关键技术、目前发展水平、以及一些典型应用实例。
This article describes the basic principles of e-beam evaporation technology, key technologies, the current level of development, as well as some typical application examples.
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