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多学科设计优化是一种针对于涵盖多个学科领域的复杂系统进行设计优化的方法，强调各子学科系统在独自设计优化的基础上的相互之间的并行协作。鉴于微机电系统（Micro electro mechanical systems，MEMS）设计中存在多学科交叉耦合等问题，将多学科优化设计方法引入到MEMS的设计中，研究分析MEMS本身的多学科特性和设计现状，建立面向MEMS的多学科设计优化系统（Micro electro mechanical multidisciplinary design optimization s