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定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准，由定客式流量计和流导法两部分组成，定容式流量计用于大流量的测量，流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式，可测量流入定容室的气体流量；也可测量流出定容室的流量。该校准装置，可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准，校准范围为（5×10^-2～5×10^-11）Pa·m^3／s，合成标准不确定度为0．56%～1．70％。