【摘 要】
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用Nb-752薄长条做衬底材料,按C_2H_2/N_2分别为3/2和2/3两种气体流量比获得Ti(CN)_(3/2)和Ti(CN)_(2/3)两种涂层,由单面镀膜样品弯曲的曲率半径计算出涂层的宏观残余应力约为
【机 构】
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中国科学院金属腐蚀与防护研究所,中国科学院金属腐蚀与防护研究所研究实习员,沈阳（110015）
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用Nb-752薄长条做衬底材料,按C_2H_2/N_2分别为3/2和2/3两种气体流量比获得Ti(CN)_(3/2)和Ti(CN)_(2/3)两种涂层,由单面镀膜样品弯曲的曲率半径计算出涂层的宏观残余应力约为2—3GPa,其中热应力占10—20％,涂层与基材界面处应力状态分析表明,界面存在一剪切残留应力并计算大小为0.1—0.2GPa。此外,采用应力圆法分析涂层受力状态,讨论了涂层受外载作用下的破坏方式。
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