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【摘 要】
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<正>一、引言反应离子束刻蚀是在离子束刻蚀基础上发展起来的具有广泛应用前景的微细加工技术.近年来,已被用来制作全息闪耀光栅.二、实用全息闪耀光栅反应离子束刻蚀全息闪
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1989年3期
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