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【摘 要】
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第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（
【机 构】
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中国科技大学国家同步辐射实验室,中?
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年3期
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