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将待测面形表示为多项式的和，通过分别沿x，Y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差，采用最小二乘法拟合多项式系数，得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式，并进行了仿真实验，模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响。仿真结果表明：待测平面与初始平面残差图的均方根值为5．118×10^-13λ，理论误差达到高精度平面面形检测要求。