【摘 要】
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侧重研究了高温氧化（３００－５５０℃）引起金属Ｓｎ薄膜的表面显微形貌和表面氧化状态的变化．利用原子力显微镜（ＡＦＭ）的测量，观察到金属Ｓｎ薄膜表面的金属晶粒呈现近似方形的显微形貌，但是金属Ｓｎ氧化薄膜表面的
【机 构】
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北京工业大学应用物理系,香港中文大学电子工程系,香港中文大学化学系
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侧重研究了高温氧化（３００－５５０℃）引起金属Ｓｎ薄膜的表面显微形貌和表面氧化状态的变化．利用原子力显微镜（ＡＦＭ）的测量，观察到金属Ｓｎ薄膜表面的金属晶粒呈现近似方形的显微形貌，但是金属Ｓｎ氧化薄膜表面的金属氧化物颗粒却具有近似圆形的显微形貌，因此，金属晶粒的高温氧化是一个各向异性的过程．在Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）测量的基础上，不仅发现在金属Ｓｎ薄膜和金属Ｓｎ氧化薄膜的表面都存在大量的吸附氧粒子，而且发现吸附氧粒子的吸附形式与表面的氧化程度有关
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