【摘 要】
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我们在新颖而又独特的构思上,采用常规平面扩散工艺,制成了高速蓝敏光电二极管,其性能酷似p-i-n光电二极管,而总体成本不到p-i-n光电二极管的十分之一。对于1mm~2这种二极管
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我们在新颖而又独特的构思上,采用常规平面扩散工艺,制成了高速蓝敏光电二极管,其性能酷似p-i-n光电二极管,而总体成本不到p-i-n光电二极管的十分之一。对于1mm~2这种二极管的结电容(零偏)仅15pF、上升时间10ns、100Lx下的开路电压大于400mV、
In a novel and unique concept, using a conventional planar diffusion process, we made a high-speed blue-sensitive photodiode that behaves like a p-i-n photodiode at a fraction of the overall cost of one-tenth the p-i-n photodiode. For 1mm ~ 2 this diode junction capacitance (bias) only 15pF, rise time 10ns, 100Lx under the open circuit voltage is greater than 400mV,
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