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CdSe薄膜晶体管制备工艺的研究

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：LQL12
【摘 要】
：
对CdSe-TFT的制作工艺进行了探索,对TFT矩阵的关键材料--半导体层CdSe的性质进行了研究.利用zc-36型高阻仪研究了CdSe薄膜电阻率随蒸发速率的变化,用三探针法和Curve Tracet
【作 者】
：
景玉梅 李志明 李菊生 叶如华 
【机 构】
：
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130021
【出 处】
：
液晶与显示
【发表日期】
：
2004年期
【关键词】
：
CdSe 薄膜晶体管 迁移率 
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对CdSe-TFT的制作工艺进行了探索,对TFT矩阵的关键材料--半导体层CdSe的性质进行了研究.利用zc-36型高阻仪研究了CdSe薄膜电阻率随蒸发速率的变化,用三探针法和Curve Tracet QT-2对TFT样管的基本电性能进行了测试,得到载流子迁移率为170cm2/V·s,OFF态电流小于lO-10A,ON态电流为10-4A.
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