【摘 要】
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设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及
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设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场 ,进行结构优化设计 ,并着重介绍开关的实现及性能
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