【摘 要】
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膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技
【机 构】
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膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积、磁控溅射沉积、离子束溅射沉积、金属有机物化学气相沉积和分子束外延等等。
The one-dimensional size of the membrane is much smaller than the remaining two dimensions. Generally less than 1μm thick film called the film, otherwise known as the thick film. Due to the many excellent properties of thin film materials, the development of thin film science has been extremely rapid in recent years. Many thin film preparation technologies and methods have emerged, such as vacuum evaporation deposition, magnetron sputtering deposition, ion beam sputtering deposition, metal organic chemical vapor deposition and Molecular beam epitaxy and so on.
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