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为了分析磁场、阴极电压、气压和靶基板间距等工作参数对沉积速率的影响，本文对磁控放电过程和沉积过程进行了讨论，并着重对沉积速率计算的：无碰撞模型和碰撞模型进行了研究。靶功率是影响沉积速率的关键因素，通过对磁控放电特性分析发现，随着磁场、电压的增大，等离子体阻抗降低，放电电流和靶功率增大，随着气压的增大，放电电流和靶功率先增大后减小；采用碰撞模型对沉积速率进行模拟发现，在靶功率恒定的情况下，沉积速率随着气压和靶基板间距的增大而减小。因此，在气压和靶基板间距保持恒定的情况下，沉积速率会随着磁场和电压的增大而增大