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本文采用液膜代替传统的电解质溶液，用电化学腐蚀法制备了STM用W探针，细致研究了电压、液膜中电解质浓度和补充滴加电解质的时间间隔的单因素实验和正交实验对探针制备成功率的影响。采用该法得到的探针针尖表面光滑，显示出极好的对称性，在较佳的条件下，曲率半径最小达到48nm，超过了进口的商业化STM探针的水平，可以进行实际应用。