用302负型光刻胶刻制光学度盘

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一、引言刻制光学度盘,一般采用刻划镀铬工艺,如果批量大,则可采用先用刻划的方法制得母版,再用虫胶镀铬工艺进行大量复制。可是,对于图1所示的度盘就无法用刻划镀铬的工艺来完成它,因为两圈圆刻线太宽了。显然,采用光刻的办法,就能比较方便地完成此任务。 I. INTRODUCTION Engraving optical discs are generally engraved chrome plating process, if the batch is large, you can use the method of scoring the master, and then use shellac chrome plating process a large number of copy. However, the dial shown in Figure 1 can not be engraved chrome plating process to complete it, because the two round marks are too wide. Obviously, the use of photolithography approach, can be more convenient to complete this task.
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