【摘 要】
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在多晶硅锭生长过程中,通过控制铸锭炉内隔热笼提升速度,可以获得杂质较少、少子寿命较长的高效多晶硅锭。试验将隔热笼提升速度分别设置为:1、5和12 mm/h。采用数值分析软件
【机 构】
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太原理工大学物理与光电工程学院,中国电子科技集团公司第二研究所,山西中电科新能源技术有限公司,
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在多晶硅锭生长过程中,通过控制铸锭炉内隔热笼提升速度,可以获得杂质较少、少子寿命较长的高效多晶硅锭。试验将隔热笼提升速度分别设置为:1、5和12 mm/h。采用数值分析软件计算了硅锭内部的温度分布,并理论分析了产生该现象的原因。结果表明:隔热笼提升速度设置为5 mm/h时,硅锭整体缺陷相对较少、绝大部分杂质富集在硅锭周围且少子寿命较长区域所占比例较大。
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