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采用硅氮化合物本体与水蒸汽直接作用的方法, 研究了一系列硅氮化合物的结构与水解稳定性之间的关系. 结果表明, 空间位阻越大则硅氮化合物水解稳定性越好, 环张力对硅氮烷的水解稳定性有一定的影响, 但空间位阻的作用更为显著. 带有苯基的环二硅氮烷、 六苯基环三硅氮烷和含硅氮键的高分子聚合物具有较大的空间位阻, 因此水解稳定性非常好.