用变压吸附法(PSA法)同空气直接制取高纯氮

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介绍了用5A分子筛和焦炭分子筛的制氮工艺过程及氮气的纯化工艺过程。产品氮气的纯度≥99.9995%,含氧量<2ppm,含氢量<5ppm,露点<-70~C。
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