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提出了一种基于微分干涉原理的光学形貌仪，由于采用共光路干涉体系仪器对机构振动、空气扰动以及温度变化等外界干扰不敏感，并且不需标准参考反射镜，实践结果表明，光学形貌仪的横向分辨率为0.5um，在不采取任何隔振和环境控制措施的一般场合下，形貌仪具有优于1nm的垂直分辨率和重复测量精度。
一种基于微分干涉原理的光学形貌仪
【摘 要】
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提出了一种基于微分干涉原理的光学形貌仪，由于采用共光路干涉体系仪器对机构振动、空气扰动以及温度变化等外界干扰不敏感，并且不需标准参考反射镜，实践结果表明，光学形貌仪的横
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1992年2期
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