电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究

• 作 者: 曾庆丰 邓永和
• 机 构: 贵州大学理学院,湖南工程学院数理系
• 出 处: 微纳电子技术
• 发表日期: 2008年07期
• 关键词: 乙醇气体敏感元件 灵敏度 添加剂 电化学 响应与恢复时间

在WO3粉体材料中加入一定质量比的添加剂(Pt、Pd、PtO2、PdCl2、SnO2、SiO2、Al2O3),恒温600℃烧结1h制成旁热式厚膜乙醇气体敏感元件。采用静态电压测量法,研究了元件的加热电压与元件灵敏度β的关系以及添加剂对元件的响应与恢复时间的影响。实验结果表明:乙醇的气体体积分数为10-3,WO3元件掺入质量分数为0.5%的PdCl2,在加热功率为600mW下元件的响应与恢复时间分别为9.0s和11.0s,与纯WO3元件相比元件的灵敏度提高了约8倍。