【摘 要】
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电声扫描显微镜是近年发展起来的一种新型检测成像工具。由于它的成像原理基于微观热学与弹性变化,因而它具有常规扫描显微镜无法比拟的优点:试样的非破坏性亚表面剖面成像。
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐所,中国科学院上海硅酸盐所上海200050,上海200050,上海200050
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电声扫描显微镜是近年发展起来的一种新型检测成像工具。由于它的成像原理基于微观热学与弹性变化,因而它具有常规扫描显微镜无法比拟的优点:试样的非破坏性亚表面剖面成像。电声扫描显微镜也是高新技术结合的产物,它的产生也得力于弱信号检测技术的发展。本文简要介绍了电声扫描电镜的工作原理、结构及其应用,侧重介绍了弱信号检测技术在该仪器研制中的应用。
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