【摘 要】
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了Sb∶SnO2/SiO2复合膜.通过原子力显微镜(AFM)观察了薄膜样品的表面形貌,利用紫外-可见光谱,p-偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性.
【机 构】
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上海理工大学理学院光电功能薄膜实验室,上海,200093中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了Sb∶SnO2/SiO2复合膜.通过原子力显微镜(AFM)观察了薄膜样品的表面形貌,利用紫外-可见光谱,p-偏振光反射比角谱研究了复合薄膜的光学特性.结果表明,薄膜中的晶粒具有纳米尺寸(～35 nm)的大小,比表面积大,孔隙率高;薄膜的透光率高,可见光波段近95%;其光学禁带宽度约3.67 eV.因此Sb∶SnO2/SiO2纳米复合膜可作为气敏薄膜的理想选择.通过对三种不同的气体C3H8,C2H5OH及NH3气敏特性的测试表明,Sb掺杂大大提高了SnO2薄膜对C2H5OH的灵敏度,纳米Sb∶SnO2/SiO2复合膜的气敏灵敏度高于纯SnO2薄膜及Sb掺杂的SnO2薄膜.
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