PT/LaF_(3)敏感膜MIS型固态氧传感器研制

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzh19860525anan

【摘要】

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研究了可在室温下工作,且具有Pt/LaF_3敏感膜的MIS型固态氧传感器,讨论了它的敏感机理,测试并分析了传感器的响应特性. The MIS solid oxygen sensor, which can be operate

【作者】

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牛文成俞梅庾向东祁增芳张福海

【机构】

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【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

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1995年03期

【关键词】

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敏感膜固态氧 MIS PT/LaF 敏感机理响应特性芯片结构电容值传感技术平带电压

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研究了可在室温下工作,且具有Pt/LaF_3敏感膜的MIS型固态氧传感器,讨论了它的敏感机理,测试并分析了传感器的响应特性. The MIS solid oxygen sensor, which can be operated at room temperature and has Pt / LaF_3 sensitive membrane, was studied. Its sensing mechanism was discussed. The response characteristics of the sensor were tested and analyzed.

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