【摘 要】
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利用溶胶-凝胶法以浸涂方式在玻璃基体上制备了SiO_2薄膜,研究了某些工艺参数,尤其是加水量R(水与正硅酸乙酯的摩尔比)对薄膜形成过程及薄膜质量的影响,用SEM观察了不同薄膜
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系,清华大学材料科学与工程系,清华大学材料科学与工程系 北京 100084,北京 100084,北京 100084
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利用溶胶-凝胶法以浸涂方式在玻璃基体上制备了SiO_2薄膜,研究了某些工艺参数,尤其是加水量R(水与正硅酸乙酯的摩尔比)对薄膜形成过程及薄膜质量的影响,用SEM观察了不同薄膜的微观结构,并结合SiO_2的溶胶-凝胶过程中聚合物的结构及涂膜特性进行了讨论。结果表明,在R<2或R>20时,并且添加适量添加剂的溶胶,能够制得结构均匀而不开裂的SiO_2薄膜。
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