【摘 要】
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以硝酸作为催化剂制备二氧化硅溶胶,较详细研究了乙醇/TEOS、H2O/TEOS、HNO3/TEOS摩尔比以及反应温度对溶胶粘度的影响,并建立了溶胶粘度与各影响因素的动力学方程。结果表明
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
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以硝酸作为催化剂制备二氧化硅溶胶,较详细研究了乙醇/TEOS、H2O/TEOS、HNO3/TEOS摩尔比以及反应温度对溶胶粘度的影响,并建立了溶胶粘度与各影响因素的动力学方程。结果表明,硝酸催化条件下水解反应的活化能约为2330J/mol,远低于无催化剂条件下的活化能。此外,还研究了反应温度和陈化时间对溶胶粒度分布的影响。
The influence of ethanol / TEOS, H2O / TEOS, molar ratio of HNO3 / TEOS and reaction temperature on the sol viscosity was studied in detail with nitric acid as catalyst. The kinetic equation of sol viscosity and various influencing factors were established. The results showed that the activation energy of hydrolysis reaction was about 2330J / mol under nitric acid catalysis, which was much lower than that of the catalyst without catalyst. In addition, the influence of reaction temperature and aging time on the particle size distribution of sol was also studied.
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