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本文指出,用干涉显微镜可以测量离子镀薄膜的厚度。本文介绍了测量的方法,并说明这种方法的优点。
用干涉显微镜测量离子镀反射薄膜的厚度
【摘 要】
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本文指出,用干涉显微镜可以测量离子镀薄膜的厚度。本文介绍了测量的方法,并说明这种方法的优点。
【机 构】
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淮阴工业专科学校,南京航空学院邮编223000,邮编210016
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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1993年1期
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