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【摘 要】
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本文介绍了一台用于评价光盘和盘基表面缺陷特性的自动测试仪器。仪器采用伺服聚焦的激光束扫描高速转动的光盘或光盘基片表面,探测出其表面缺陷。利用电子技术对缺陷信号进
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1992年2期
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