Al_xGa(1-x)As LPE掺杂机理研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangyingygp
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本文将D.T.J.Hurle的点缺陷平衡模型推广到三元Ⅲ-V族化合物.从理论上计算了Sn、Ge和Te等元素掺杂Al_xGa_(1-x)As时,载流子浓度与液相杂质浓度的关系曲线.计算结果与实验值相符. In this paper, the DTJHurle point-defect equilibrium model is generalized to ternary group III-V compounds. Calculations of the effect of carrier concentration and liquid phase impurities on the Al_xGa_ (1-x) As doped with elements such as Sn, Concentration curve.The calculated results are consistent with the experimental values.
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