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本文研究了Ａｌ金属化系统中的回流效应，提出了一种全新三层金属化系统抗电行徒结构，同时对新旧两种结构的金属化系统进行了各种动态应力的电迁徙实验对比，结果显示出新结构在抗电迁徙性能上的明显优越性，ＳＥＭ分析对此也提供了有力的证据。
利用回流效应的新型金属化系统研究
【摘 要】
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本文研究了Ａｌ金属化系统中的回流效应，提出了一种全新三层金属化系统抗电行徒结构，同时对新旧两种结构的金属化系统进行了各种动态应力的电迁徙实验对比，结果显示出新结构在抗电迁
【机 构】
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北京工业大学电子工程系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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