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本文采用带有厚氧的新器件结构,并辅以后栅氧工艺,可以大大提高器件的抗辐射能力,在此基础上,利用半导体仿真软件对DMOS器件进行工艺设计和仿真,得到最终的整个工艺流程。
功率DMOS器件加固技术的工艺设计
【摘 要】
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本文采用带有厚氧的新器件结构,并辅以后栅氧工艺,可以大大提高器件的抗辐射能力,在此基础上,利用半导体仿真软件对DMOS器件进行工艺设计和仿真,得到最终的整个工艺流程。
【机 构】
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沈阳理工大学
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2021年05期
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