Sol-gel法制备Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜及其性能

• 作 者: 郭冬云 李美亚 裴玲 于本方 吴庚柱 赵兴中 王耘波 于军
• 机 构: 武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学物理科学与技术学院,华中科技大学电子科学与技术系,华
• 出 处: 中国科学(E辑:技术科学)
• 发表日期: 2007年01期
• 关键词: Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜 Sol-gel法 铁电性能 疲劳特性 漏电流

采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)薄膜.制备的BLT薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构,而且表面平整致密.对700℃退火处理的BLT薄膜进行了铁电性能、疲劳特性和漏电流测试:在测试电压为10V时,剩余极化值2Pr大约是18.6μC/cm2,矫顽电压2Vc大约为4.1V;经过1×1010次极化反转后,剩余极化值下降了大约10%;漏电流测试显示制备的BLT薄膜具有良好的绝缘性能.室温下,在测试频率1kHz时,薄膜的介电常数为176,介电损