高取向PZT铁电薄膜的溶胶—凝胶法制备

• 作 者: 鲁健 褚家如
• 机 构: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
• 出 处: 中国科学技术大学学报
• 发表日期: 2002年6期
• 关键词: PZT铁电薄膜 溶胶-凝胶法 Pb(Fr0.53 Ti0.47)O3 微机电系统 制备工艺 铁电材料 电学性能 PZT ferroelectric film s

采用溶胶-凝胶技术，在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了沿（100）晶向强烈取向的Pb(Zr0.53，Ti0.47)O3铁电薄膜。通过X-ray衍射分析，在每层膜的制备工序中，增加600℃热处理15min的工艺，可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂，并促进薄膜沿（100）晶向外延生长。制得的薄膜经600℃退火4h，后，呈完全钙钛矿相，并沿（100）晶向强烈取向，原子力显微照片表明，薄膜结构致密，晶粒尺寸约为100nm。经测量，薄膜的相对介电常数高达1150，剩余极化为26μc/cm^2，矫顽场强为4