【摘 要】
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1情况简介HI-13串列加速器升级工程中超导直线增能器所使用的4个QWR铜铌超导腔将由我院自主加工溅射。整套溅射工艺线主要由高真空溅射炉、电抛光设备、高压水冲洗设备组成,
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1情况简介HI-13串列加速器升级工程中超导直线增能器所使用的4个QWR铜铌超导腔将由我院自主加工溅射。整套溅射工艺线主要由高真空溅射炉、电抛光设备、高压水冲洗设备组成,与之相配套的
1 Introduction The four QWR copper-niobium superconducting cavities used in the superconducting linear booster for the HI-13 tandem accelerator upgrade project will be self-processed and sputtered by our institute. The entire sputtering process line consists of high vacuum sputtering furnace, electric polishing equipment, high-pressure water washing equipment, with matching
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