【摘 要】
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利用MonteCarlo模型研究了用PCVD法沉积a Si∶H薄膜初始阶段团簇的大小和数目与衬底温度的关系。该模型考虑了两个成长阶段 ,即成核阶段和晶核成长阶段 ;3种动力学过程 ,即粒
【机 构】
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利用MonteCarlo模型研究了用PCVD法沉积a Si∶H薄膜初始阶段团簇的大小和数目与衬底温度的关系。该模型考虑了两个成长阶段 ,即成核阶段和晶核成长阶段 ;3种动力学过程 ,即粒子入射、吸附粒子扩散和吸附粒子脱附过程。模拟结果表明 ,随着衬底温度的升高 ,团簇的数目和大小都有所增长 ,且存在一个最佳温度 5 5 0K ,使团簇的数目达到饱和 ,晶粒为最大 ,与实验结果基本相符
MonteCarlo model was used to study the relationship between the size and number of clusters and the substrate temperature in the initial stage of depositing a Si:H thin films by PCVD. The model considers two growth stages, nucleation stage and nucleation stage, and three kinetic processes, namely particle entrance, adsorption of particle diffusion and adsorption of particle desorption process. The simulation results show that as the substrate temperature increases, the number and size of the clusters increase, and there is an optimum temperature of 5 5 0K, so that the number of clusters to saturation, the largest grain, and the experimental results Basic match
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