【摘 要】
:
We performed an experimental investigation on the electromagnetic effect and the plasma radial uniformity in a larger-area, cylindrical capacitively coupled plasma reactor. By utilizing a floating hairpin probe, dependences of the plasma radial density on
【机 构】
:
LabofAdvancedSpacePropulsionandBeijingEngineeringResearchCenterofEfficientandGreenAerospacePropulsio
【基金项目】
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funded by National Natural Science Foundation of China (Nos. 11875100, 11935005 and 11722541),financial support from the China Scholarship Council。
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We performed an experimental investigation on the electromagnetic effect and the plasma radial uniformity in a larger-area, cylindrical capacitively coupled plasma reactor. By utilizing a floating hairpin probe, dependences of the plasma radial density on
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