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水窗波段X射线反射元件的特征是周期比较小,吸收层和间隔层很难形成连续的膜面.提出了这种膜系内密度变化的简单物理模型,通过理论衍射强度计算和小角X衍射实验证明这种模型是合理的.同时理论上证明这种模型仍然有较强的小角X射线一级反射强度,其强度相当于结构参数相同的理想尖锐界面多层膜一级反射强度的70%～80%.对于小周期的多层膜设计,具有一定的参考价值.