【摘 要】
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光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列
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光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.
The combination of spectroscopy and MEMS (micro-electro-mechanical systems) and CMOS technology solves the problems of low sensitivity, poor selectivity, large volume, high power consumption and inconvenience of array and Highly integrated and even without gradient vector detection capability.This paper introduces an integrated spectroscopic MEMS / CMOS-compatible gas sensor fabricated on (110) silicon wafer, detailing the operation of the gas sensor Principle, sensor structure and manufacturing process.
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