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简要介绍了低能辐照离子源的设计及性能。采用热阴极磁约束ＰＩＧ放电，并用两极多孔加减速系统引出离子束。调试结果：离子束能量在２００－２０００ｅＶ范围内可调，最大引出速流１５０ｍＡ，灯丝工作寿命１６０ｈ。
低能辐照离子源设计及性能
【摘 要】
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简要介绍了低能辐照离子源的设计及性能。采用热阴极磁约束ＰＩＧ放电，并用两极多孔加减速系统引出离子束。调试结果：离子束能量在２００－２０００ｅＶ范围内可调，最大引出速流１５０ｍＡ，灯丝工作寿命１６０ｈ。
【机 构】
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大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,沈阳真空技术研究所
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1999年3期
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