旋转CVI制备C／SiC复合材料

• 作 者: 肖鹏 徐永东
• 机 构: 西北工业大学凝固技术国家重点实验室
• 出 处: 无机材料学报
• 发表日期: 2000年5期
• 关键词: 旋转CVI 复合材料 碳 碳化硅 陶瓷 rotating-CVI C/SiC composites deposition rate matrix structu
• 基金项目: 国家自然科学基金!（59772031）

旋转ＣＶＩ是在ＣＶＩ原理基础上发展的一种制备Ｃ／ＳｉＣ复合材料的新工艺，通过石墨衬底的旋转，使预制体的制备与基体的沉积同步进行，能有效消除一般ＤＶＩ工艺过程中存在的“瓶颈”效应。在自制的旋转ＣＶＩ设备上实验，探索了旋转ＣＶＩ工艺参数中ＣＨ３ＳｉＣｌ３（ＭＴＳ）的流量与 度、沉积温度和Ｃ布缠绕线速度对ＳｉＣ基体沉积速度，以及沉积温度对基体 影响，并在低压、高温（１１００℃）４００ｍＬ．ｍｉｎ＾－１Ｈ