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期刊论文
在线等离子清洗设备控制系统设计
在线等离子清洗设备控制系统设计
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengk9000
【摘 要】
:
作为一种精密干法清洗设备,等离子清洗机可以有效去除IC封装工艺过程中的污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。与传统独立式的等离子清洗设备相比,在线式等离子清洗设
【作 者】
:
杨静
苗岱
刘畅
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年1期
【关键词】
:
IC封装
等离子清洗
在线式
控制系统
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作为一种精密干法清洗设备,等离子清洗机可以有效去除IC封装工艺过程中的污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。与传统独立式的等离子清洗设备相比,在线式等离子清洗设备具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优点,适用于大规模全自动化生产。
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