【摘 要】
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交流电压（流）基准是国家交流电压（流）量值传递中的基准计量器具.首先分析新型薄膜热电变换器的热电转换误差,提出采用微桥谐振器非接触式测量加热电阻温度,属于新型薄膜热电变换
【机 构】
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赣南师范大学物理与电子信息学院,中国计量大学信息与控制学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51377025）
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交流电压（流）基准是国家交流电压（流）量值传递中的基准计量器具.首先分析新型薄膜热电变换器的热电转换误差,提出采用微桥谐振器非接触式测量加热电阻温度,属于新型薄膜热电变换器中加热电阻的高灵敏度温度检测方式、减小温度传感器与加热电阻之间的寄生电容、减小因热电效应、寄生电容和介质损耗引起的交直流转换误差,从而具有较高的测温灵敏度.其次研究新型薄膜热电变换器设计制作中的关键工艺,加热电阻辐射的热量使得微机械桥平均温度上升,轴向压应力增加（或拉应力减小）,谐振频率减小,通过测量微桥谐振频率的变化获得加热器的温度信
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