超LSI的研究动向和工艺技术

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随着作为超大规模集成电路的处女电路——64k位DRAM生产规模的扩大,超LSI已进入全盛时期,目前正在谋求缩小芯片面积,高速化,提高成品率等方面,随后又相继开始了256k位的生产,并开始研制大型计算机。一方面,今年(1983 As virgin circuits, as ultra-large-scale integrated circuits, expand the production scale of 64kbit DRAMs, ultra LSI has entered its heyday and is now seeking to reduce the chip area, high speed, and yield, etc., followed by 256k bits The production, and began to develop large computers. On the one hand, this year (1983
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