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电子衍射实验表明,当单体酞菁硅二醇Si(Pc)(OH)2在NaCl单晶(100)解理面上气相沉积时,所得聚酞菁硅氧烷(Si(Pc)O)n薄膜晶体中的分子链轴相对于膜面的取向,随衬底温度的升高而发生有规律的变化,不确定(150℃)→平行→平等+垂直→垂直(≥350℃)高分辨电子显微像显示,与其在固态聚合时的情形不同,气相沉只时所得的(Si(Pc)O)n微晶主要属于四方晶系,只有少量属于带心的正交晶系